光刻机是干嘛的

1、光刻机是干嘛的1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备 。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光 。
2、光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差 , 将线路图成比例缩小后映射到硅片上 。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图 。
2、光刻机用来干嘛1、用途 。
光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机 。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备 。
2、工作原理 。
在加工芯片的过程中 , 光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段 , 将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上 , 然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图 。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序 。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光 。越复杂的芯片,线路图的层数越多 , 也需要更精密的曝光控制过程 。
3、光刻机是什么1、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统 , 光刻系统等 。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。
3、Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
4、在硅片表面匀胶 , 然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程 。
4、蚀刻机和光刻机区别蚀刻相对于光刻来说要容易一些 。光刻机把图案印上去 , 然后蚀刻机根据印上去的图案蚀刻掉有图案(或者没有图案)的部分 , 留下剩余的部分 。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射 。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀 。
【光刻机是干嘛的】“蚀刻”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形 。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路 。蚀刻分为两种,一种是干刻 , 一种是湿刻(目前主流),顾名思义,湿刻就是过程中有水加入,将上面经过光刻的晶圆与特定的化学溶液反应,去掉不需要的部分,剩下的便是电路结构了,干刻目前还没有实现商业量产 , 其原理是通过等离子体代替化学溶液,去除不需要的硅圆部分 。


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