风淋室
超净间控制外界污染的要素
（1）黏性地板垫 。 在每个超净间入口都应放置一块黏性地板垫 ， 这样可以把鞋底的脏物黏住 ， 防止带入超净间 。 一般地板垫有很多层 ， 脏了一层便撕掉一层 。
（2）更衣区 。 超净间的更衣区是超净间与厂区的过渡区域 ， 更衣区通过天花板中的高效空气过滤器（High efficiency Particulate air Filter ， HEPA）提供空气 ， 工作人员必须在此换上洁净服 。 此区域利用长凳分为两个部分 ， 工作人员在长凳一侧穿上洁净服 ， 而在长凳上穿戴鞋套 ， 这样可以使长凳和超净间保持干净 。 超净间和厂区的门不能同时打开 ， 保护超净间不会暴露在厂区的污染环境中 。 有些厂还在走廊上提供更衣柜 ， 超净间衣物和物品也要妥善管理 。 更衣区通常分为两个更衣区 ， 即一次更衣区和二次更衣区 。
（3）风淋室 。 超净间与更衣间要建造风淋室 ， 高速流动的气流可以吹掉洁净服外面的灰尘颗粒 。 风淋室必须装有互锁系统 ， 防止前后门同时打开 。
（4）维修区 。 超净间周围是维修区 ， 一般要求它的洁净级别低于超净间（通常要求1000级或10000级） 。 技术员在超净间外维护设备 ， 而不必进入超净间 。
（5）空气压力控制系统 。 严格防止空气污染的厂房在设计方案上要求平衡超净间、更衣间和厂区的空气压力 。 通常超净间的空气压力最高 ， 更衣间次之 ， 厂区和走廊最低 。 这样当超净间的门打开时 ， 超净间相对高的空气压力可以防止空气中的灰尘进入 。
【超净间 ② 外界污染控制丨半导体行业】（6）净鞋器和手套清洗器 。 用净鞋器去除鞋套和鞋侧的灰尘 。 用手套清洗器清洗手套并烘干 。
（7）防静电设施 。 静电会吸附空气和工作服中的尘埃 ， 容易影响晶圆上高密度的集成电路的制造和性能 。 静电控制包括防止静电堆积和防止放电两个方面 ， 防止静电堆积使用防静电服、防静电周转箱和防静电存储盒 。 放电技术包括使用电离器和使用静电接地带 ， 电离器一般放在HEPA过滤器的下面 ， 中和过滤器上堆积的静电；静电放电包括人员的接地腕带和工作台接地垫等 。
超净间 ① 超净间的建设丨半导体行业?