一、洁净厂房内气体动力管道的敷设
1、气体动力管道一般包括蒸汽、压缩空气、氧气、氮气、天然气、真空管道，洁净厂房是指工艺有空气洁净度要求高的厂房 。气体动力管道一般属于 GC 类 压力管道 。
气体动力管道的干管一般布置在技术夹层内、技术夹道内，当有可 燃、助燃和窒息性气体时，应有良好的通风设施 。
气体管道的干管在厂房的进 口处，宜设置入口总阀、压力表、真空表、超压切断、放散管、计量装置、减 压装置及过滤器等 。在室内气体干管的末端应当连接管径不小于 DN20 的管道，并延伸到走廊端头或者其他适当的地方引下降管，在下降管上装设吹除阀，同 时设置缓冲箱 。吹除时装设临时软管接至排风管或其他安全地方排出 。掺杂气 体的主管、支管及分支管宜明装敷设 。主、支管管末端可不设吹除阀 。
2、高（超）纯气体管线长度应尽量短，根据气体耗量确定管径，不宜设预留 口，不应出现“盲管”等不易吹除的部位；在气体终端纯化装置的进、出口处，关键工艺设备的入口处以及必须进行取样的管段上应设置取样口 。
3、气体管道穿过洁净室的墙壁、楼板时，在墙壁（或楼板）的孔洞内管道不 应有焊缝，在孔洞的两侧应用不锈钢板封盖，不锈钢板与墙壁（或楼板）之间 应加设橡胶垫，不锈钢板用螺钉固定在墙壁（或楼板）之间，均应涂以硅胶密 封剂进行密封 。
4、可燃性气体和氧气管道的末端或最高点应装设放散管，放散管应高出屋脊 2 米 。在可燃气体支管上应设岗位水封，在放散管上应设置全天候阻火器 。
5、在洁净室内，当使用可燃性气体或有毒性气体的设备较多时，应设置气体 浓度检测报警装置 。
6、氢、氧气或易燃易爆管道应有可靠的防静电接地措施 。
二、气体动力管道主材和阀门的选用 管道材料应根据气体纯度的不同要求进行选择，高（超）纯气体管道材料应具 有化学稳定性好，吸附性差，渗透性小等特性 。
1、常用高纯气体管道应根据所输送的不同的气体和用途选用不同品种的奥氏 体不锈钢管，尽量不用铜材质造的管道，按纯度要求≥99.9999 应采用不锈钢 管 。≥99.99 宜采用不锈钢管 。＜99.99 可用无缝钢管 。气体终端纯化装置入 口侧的高纯气体管道一般选用 0Cr18Ni9，0Cr19Ni10 有缝或无缝不锈钢管，但 对于不经过气体终端纯化处理而直接通往用气点的高纯气体管道宜采用无缝 不锈钢管 。气体终端纯化装置出口侧的超纯气体管道及掺杂气体的管道一般选 用 0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb 无缝不锈钢管道 。接至工艺设备的管道应选用 不锈钢管或不锈钢波纹管道 。不能使用聚四氟乙烯管或其他软管 。
2、输送无毒无味气体管如净化干燥的压缩空气管、真空管等一般选用热轧镀 锌钢管 。
3、高（超）纯气体管道选用阀门应选用密封性良好的针型阀、球阀、隔膜阀、 真空阀及角阀等；并注意介质的压力要求，对易燃易爆气体使用阀门时压力应 提高 1-2 个等级 。在洁净室内禁用铜和铜合金的阀门 。取样阀应选用不锈钢波 纹管密封阀 。选用阀门材料阀体、阀杆为 0Cr18Ni9；波纹管为 1Cr18Ni11Nb； 阀座、填料为聚四氟乙烯；密封垫可用不锈钢有色金属或聚四氟乙烯 。
4、视工艺生产、洁净室或局部洁净设备的洁净度等级要求合理选用气体管道 的高效过滤器 。
三、管道的连接
1、管道的连接应采用特制的成型管接头，三通弯头等进行套管焊接，对于不 锈钢管必须采用氩弧焊打底，施焊时在管内通入氩气（以高纯度氩为好），其 管道附件的制作材料应与其配管材料相同 。

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